MICRO-USINAGE & FABRICATION
Technologies maitrisées
- Micro-usinage par sablage (rainurage, cavités, perçages, découpes).
- Scellement verre/verre ou verre/silicium (avec ou sans couche intermédiaire).
- Dépôt de métaux par évaporation ou par électro-déposition.
- Formulation de matériaux polymères (polymères photosensibles, adhésifs, colorants,...).
Caractéristiques d‘usinage
- Profondeur d’usinage: épaisseur = 2 mm.
- Taille de la structure = 100 µm.
- Précision la structure liée au masque d’usinage: ± 5 µm.
- Angle de gravure : 10 à 25° selon les matériaux.
- Rugosité : Ra env. 1.1 µm dans le verre mais varie selon les matériaux.
- Rapport d’aspect pour le verre : max. 1:1 pour structures < 200 µm et 2:1 pour des structures = à 200 µm.
- Précision de gravure : 20 µm ou 10% de la profondeur si profondeur > à 200 µm.
Points forts de notre technologie d'usinage
- Découpe de pièce de formes complexes
- Gravure anisotropique (angle d’usinage d’environ 15° dans le verre).
- Surfaces protégées, elles gardent leurs qualités initiales. Les capacités de scellement direct verre-verre et d’encapsulation sont préservées.
- Pas de stress thermique ou mécanique induit.
- Pas de bavures.
- Faible coût.
Matériaux usinés
- Céramique dure: Nitrure d’aluminium.
- Céramique fragile: Piezocéramiques (PZT), céramiques poreuses, carbone.
- Verre: Borofloat 33, Quartz, verres spéciaux (émail, infrasil,…).
- Semi-conducteurs: Silicium, Arsénure de gallium (AsGa).
- Matériaux naturels : Nacre, pierres semi-précieuses (onyx, lapis-lazuli,…)
- Métaux: Précieux en couches fines et oxydes frittés (ferrite).
- Plastiques: PMMA, Epoxy, PEEK.
Puce micro-fluidique en verre
Micro-canaux et micro-perçages de 200 µm de large dans du verre
Usinage de cadrans de montre en verres colorés
Notre offre de Micro-usinage & Fabrication
-Optimisation du design ou de la conception de vos pièces.
-Etude de faisabilité.
-Micro-structuration et découpe de pièces dans des plaques n’excédant pas 200 mm.
- Production d’un prototype à quelques centaines de plaques par mois.
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-Optimisation du design ou de la conception de vos pièces.
-Etude de faisabilité.
-Micro-structuration et découpe de pièces dans des plaques n’excédant pas 200 mm.
- Production d’un prototype à quelques centaines de plaques par mois.
